高精度測定用電鍍層應變計式精密應力計
高精度測定用電鍍層應變計式精密應力計

通過傳感器測量基板的應變，實時測量鍍層內部應力。

通過一次測量可以測量各鍍層時間（皮膜厚度）下的應力。此外，還可以測量一次鍍敷后的膜上再次鍍敷時的應力。可以測量傳統(tǒng)應力儀無法測量的微小應力。在精密電鍍電源YPP系列的插槽中，插入專用的應力計板進行使用。

特長

●符合JIS H8626標準。
●即使是微弱的應力也可以進行測量。適用于薄膜和晶圓等微弱產(chǎn)品的測量。（可從膜厚0.5μm以上進行精密測量）
●也可以測量通過其他方式無法測量的初期應力。
適用于微小部件。
●傳感器獲得的數(shù)據(jù)立即輸入到連接到電源的PC中，無需計算即可自動計算應力值。此外，測量中的數(shù)據(jù)可以使用電腦實時顯示。將被積累起來。

電源及應力測量板部的規(guī)格

通過傳感器測量基板的應變，實時測量鍍層內部應力。

通過一次測量可以測量各鍍層時間（皮膜厚度）下的應力。此外，還可以測量一次鍍敷后的膜上再次鍍敷時的應力。可以測量傳統(tǒng)應力儀無法測量的微小應力。在精密電鍍電源YPP系列的插槽中，插入專用的應力計板進行使用。

特長

●符合JIS H8626標準。
●即使是微弱的應力也可以進行測量。適用于薄膜和晶圓等微弱產(chǎn)品的測量。（可從膜厚0.5μm以上進行精密測量）
●也可以測量通過其他方式無法測量的初期應力。
適用于微小部件。
●傳感器獲得的數(shù)據(jù)立即輸入到連接到電源的PC中，無需計算即可自動計算應力值。此外，測量中的數(shù)據(jù)可以使用電腦實時顯示。將被積累起來。

電源及應力測量板部的規(guī)格

通過傳感器測量基板的應變，實時測量鍍層內部應力。

通過一次測量可以測量各鍍層時間（皮膜厚度）下的應力。此外，還可以測量一次鍍敷后的膜上再次鍍敷時的應力。可以測量傳統(tǒng)應力儀無法測量的微小應力。在精密電鍍電源YPP系列的插槽中，插入專用的應力計板進行使用。

特長

●符合JIS H8626標準。
●即使是微弱的應力也可以進行測量。適用于薄膜和晶圓等微弱產(chǎn)品的測量。（可從膜厚0.5μm以上進行精密測量）
●也可以測量通過其他方式無法測量的初期應力。
適用于微小部件。
●傳感器獲得的數(shù)據(jù)立即輸入到連接到電源的PC中，無需計算即可自動計算應力值。此外，測量中的數(shù)據(jù)可以使用電腦實時顯示。將被積累起來。

電源及應力測量板部的規(guī)格